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概要質(zhì)量流量計(jì)是用來測(cè)量或控制氣體流量的一種設(shè)備

概要MARK3系列是在未改變質(zhì)量流量控制器所必須的品質(zhì)特性的條件下*實(shí)現(xiàn)成本降低的量產(chǎn)產(chǎn)品

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概要搭載采用了冷卻檢測(cè)方式的流量傳感器特征通過采用數(shù)字回路，實(shí)現(xiàn)了高精度?高速響應(yīng)

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